000 00373nam a2200157Ia 4500
005 20250423100921.0
008 250422s9999 xx 000 0 und d
020 _a0- 961672- 3- 7
050 _aTK 7874 .W635/
100 _aStanley Wolf
245 0 _aSilicon processing for the VLSI era
260 _bLattice press
260 _c1986
300 _a660 p
942 _cBK
999 _c34738
_d34738